使用接觸角測(cè)量法測(cè)量表面清潔度確實(shí)更可行

2021-09-06

測(cè)量表面清潔度的方法多種多樣，例如：基于熒光分析法或基于X 射線的方法，然而這些方法的缺點(diǎn)也很明顯，包括限制對(duì)某些類(lèi)型的污染的驗(yàn)證、傳感器的距離對(duì)結(jié)果產(chǎn)生的結(jié)果較大、器昂貴及測(cè)量成本高。相比之下，接觸角測(cè)量法在測(cè)量表面清潔度方面提供了更可行的解決方案。

接觸角測(cè)量法是一種即使在小污染方面也能實(shí)現(xiàn)高靈敏度方法。根據(jù) Young 方程，液滴在固體表面的形狀取決于液體的表面張力和樣品表面的表面能。不溶性污染（油脂、油等）會(huì)形成低表面能的表面，從而產(chǎn)生更大的接觸角。有界面活性的污染物（表面活性劑等）會(huì)溶解在液滴中，導(dǎo)致表面張力下降，從而接觸角也會(huì)隨時(shí)間降低。

該方法的優(yōu)點(diǎn)是為您提供有關(guān)雜質(zhì)（可溶性/不溶性）類(lèi)型和位置的相關(guān)信息，并且易于應(yīng)用。它是非破壞式的，可以使用移動(dòng)式測(cè)量設(shè)備在任何地方執(zhí)行。

LCD系列表面清潔分析儀為美國(guó)科諾研制的行業(yè)性分析儀器，可在分析測(cè)試水滴在液晶屏、晶圓（Wafer）、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上，進(jìn)而分析Plasma效果，是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測(cè)試系統(tǒng)。該儀器由主機(jī)和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個(gè)部分組成。根據(jù)樣品臺(tái)移動(dòng)方式不同，我們將主機(jī)分為自動(dòng)（LCD1000A）、手動(dòng)（LCD1000M）兩種。樣品臺(tái)尺寸及其控制行程可根據(jù)客戶要求定制。

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